안녕하세요!
오늘은 이전에 소개드렸던 Alicat 사의 Flow Controller 제품의 활용에 대해서 소개해드리겠습니다 :)
Alicat Flow Controller는 크게 3가지 Application으로 사용되는데요,
1. Measurement And Calibration Applications - 측정 및 교정
유기물을 분해하는 격리 된 챔버와 관련된 연구에 종종 로터미터를 사용합니다.
챔버에서 가스가 배출되고 이를 가스 분석기로 측정하여 가스의 구성 성분을 파악할 수 있습니다.
위 그림은 로터미터 대신 Alicat 마이크로 유량계 (MFM)를 사용하는 방법을 보여주고 있습니다.
위 MFM은 메탄가스 교정을 위해 설치했습니다. 가스 유량 데이터 전체를 PC에 전송하여 보고서를 생성합니다.
2. . Testing And Leak Checking Applications - 테스트 및 누출 점검 어플리케이션
(*DUT = Device Under Test)
Alicat 시리즈를 이용하시면 누출검사를 빠르고 정확하게 할 수 있습니다.
M 시리즈를 통해 누출량을 알 수 있으며 요구 압력에 맞는 PC3 시리즈로 압력을 원격 감지할 수 있습니다.
M 시리즈는 0.005SCCM의 미세유량도 측정 가능합니다.
위 그림에 표시된대로 DUT 입구에서 PC3을 통해 압력이 제어됩니다.
그 다음 니들 밸브를 통해 일정한 양의 가스를 투입하게 됩니다.
밸브가 닫힌 후에 유량계를 통과하는 모든 유량이 누출이나 부피의 감소를 측정합니다.
상단 니들 밸브를 통해 일정한 압력 블리드는 PC3가 DUT의 압력을 정확히 유지할 수 있게 해주며
바이패스 밸브가 닫힌 후에 M을 통과하는 모든 유량은 누출 혹은 DUT의 부피 감소로 인한 것입니다.
만약, DUT의 온도가 일정한 경우 M에 표기된 유량은 누설량이 됩니다.
유량계와 DUT 사이의 데드 볼륨과 DUT 자체의 볼륨을 줄이면
온도 변화로 인한 변화가 줄어들고 누출 확인 과정이 더욱 빨라질 수 있습니다.
아래 동영상을 함께 보시면 이해가 더 빠르게 되실거에요 ^^
지금까지 Alicat사 Flow controller 제품의 활용을 함께 살펴보았습니다.
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