[Alicat] / MFM, MFC 의 기본원리 - 정량펌프 전문 레보딕스(주)

안녕하세요~ 레보딕스입니다 :)

 

오늘은 레보딕스에서 취급하는 ALICAT 사 의 MFM,  MFC 의 기본원리를

설명드리도록 하겠습니다.

 

Gas Flow Products에는 기체의 유량을 측정할 수 있는 MFM(Mass Flow Meter)와 기체의 유량을 측정 및 컨트롤 할 수 있는 MFC(Mass Flow Controller)가 있습니다.

이 제품들의 특징은 아래와 같습니다.

1. PC에 연결없이 키패드로 컨트롤 가능

2. LCD 화면에 압력, 온도, 유량이 사용자가 원하는 단위로 표시 가능 (압력 : mbar, Mpa등)

3. 최대130가지의 가스 측정 가능 (Gas Select 5.0)

  - M : 98가지

  - MC & MCS : 130가지

4. 실시간 기체 흐름 및 압력 모니터링 제어

5. USB로 충전가능한 Portable Meter 는 완충 후 18시간 연속사용 가능

6. 정밀도 : 0.8% of the reading (0.4% optional) + 0.2%

제품의 작동 원리는 바로 압력의 차이를 이용합니다.

 

공기가 흘러 들어와 나가는 곳에 온도, 압력센서를 이용하여 좀 더 빠르고 정밀한 측정이 가능합니다.

타사의 제품은 온도의 변화만을 측정하기 때문에 예열시간이 1분정도 필요하고

반응속도는 2초 정도입니다.

ALICAT 은 예열이 필요 없고 반응 속도는 10ms 이하입니다.

 

이 제품들의 특징은 아래와 같습니다.

 

1.     PC에 연결없이 키패드로 컨트롤 가능

2.     LCD 화면에 압력, 온도, 유량이 사용자가 원하는 단위로 표시 (압력 : mbar, Mpa 등)

3.     Analog 및 Digital output & input

 이제 제품을 선정하는 방법을 쉽게 설명 드리겠습니다.

 

위의 그림을 보시면 MC 다음에 보이는 숫자가 바로 최대유량을 뜻합니다.

예를들어, 최대 50ml/min을 사용하시길 원하신다면 MC-50SCCM-D를 선택하시면 됩니다.

여기서 최소 유량은 최대 유량의 1/200을 해주시면 됩니다.

따라서 MC-50SCCM-D는 최소 0.25ml/min에서 최대 50ml/min까지 컨트롤이 가능한 제품이라고 생각해주시면 됩니다.

 

위 그림은 각 유량범위별로 선택할 수 있는 fitting의 규격을 확인하실 수 있습니다.

아까 예를 들었던 MC-50SCCM-D의 경우에는 M5 (10-32) Female Thread를 사용합니다.

 

M5 (10-32) Female Thread에 연결할 수 있는 tubing의 사이즈는 1/8”과 1/4”가 있으며

파트넘버는 위의 그림과 같습니다.

 

 

이렇게 오늘은 제품에 대한 전반적인 특징들과 함께 제품을 선정하는 방법에 대해서 설명 드렸습니다.

 

그 밖의 유량에 따라 다양한 제품들이 있으니 제품에 대한 상담 또는 제품을 선정하는 방법에 대해 궁금하시다면

언제든지 아래 연락처 혹은 레보딕스 카카오톡으로 연락주시면 더욱 자세한 상담으로 여러분의 궁금점이

풀리실때까지 도와드리겠습니다.

 

 

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