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[ALICAT 알리캣] 질량유량컨트롤러, 질량유량계 (MassFlow Controllers) 기본원리 및 제품 라인 - 연구/실험장비 레보딕스(주)


안녕하세요~ 레보딕스입니다 :)



사진을 클릭하시면 alicat사의 다양한 제품을 만나보실 수 있습니다

오늘은 ALICAT 사의 기본원리 및 제품 라인을 간단히 소개시켜 드리겠습니다.

제품의 작동 원리는 바로 압력의 차이(DP, Differential pressure)를 이용합니다.

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MFC / MFM

(질량유량계, 질량유량컨트롤러)

alicat


사진을 클릭하시면 alicat사의 다양한 제품을 만나보실 수 있습니다

Alicat사의 제품은 위와 같은 형태로 구성이 되어 있습니다

제품내부에는 오른쪽그림과 같은 Laminar Flow Element가 있으며

제품의 측정원리는

제품 inlet으로 들어오는 기체의 흐름 형태는 Laminar Flow Element를 통하여

난류 (Turbulence Flow)에서 층류(Laminar Flow)로 바뀌게 됩니다.

여기서의 호칭하는 난류 난류 (Turbulence Flow)는 유체입자들이 불규칙하고 소용돌이치는 흐름을 뜻하며,

층류(laminar flow)는 유체입자들이 부드럽고 평행하게 정렬된 형태를 의미하며 각각의 흐름은 아래 그림과 같습니다


사진을 클릭하시면 alicat사의 다양한 제품을 만나보실 수 있습니다

층류로 바뀐 기체들은 Poiseuille's Law에 의하여 채적이 구해지고

이러한 체적값을 변환시커 M(Mass)값을 구하는 방식이 Alicat의 측정 원리입니다.

측정 원리외 Alicat사의 제품의 타사대비 갖는 특징은 크게 3가지 입니다.

1. PC에 연결없이 키패드로 컨트롤 가능

2. LCD 화면에 압력, 온도, 유량이 사용자가 원하는 단위로 표시 가능 (압력 : mbar, Mpa등)

3. 최대130가지의 가스 측정 가능 (Gas Select 5.0)

- M : 98가지

- MC & MCS : 130가지

Alicat제품은 기존 별도의 컨트롤 및 모니터링을 위한 Readout Box 없이 제품자체 내

설치되어 있는 키패드로 컨트롤이 가능하며 LCD화면으로 현재 유량 및 유량 조절값을 설정 가능합니다.

또한 제품명 1가지 GAS가 아닌 제품 라인별로 최대 130가지의 GAS를 측정 가능합니다

열거한 장점 이외에도 RS-232, 485를 포함한 Analog 및 Digital output & input이 가능합니다.

Alicat사의 제품은 기체의 경우 MFM(Mass Flow Meter),

MFC(Mass Flow Controller),

PC(Pressure Controller)로 크게 세가지로 나누며 액체의 경우

LFM(Liquid Flow Meter), LFC(Liquid Flow Controller) 로 나뉩니다

제품별로 유량에 따라 아래와 같은 범위내에서 선정하실 수 있습니다.

Ex. Range Specific Specification(Mass Flow Controller)



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Ex. Range Specific Specification(Liquid Flow Controller)


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사용자의 유량 사용 조건에 따라 0.5SCCM에서 5000SLPM(GAS),

0.5sccm ~ 10LPM(Liqulid)까지 사용하실 수 있으며 유량에 따라

요구되는 Connection은 각각 다르며 위의 테이블에 각각 명시되어 있습니다.

제품을 선정하는 방법을 쉽게 설명 드리겠습니다.


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위의 테이블은 MFC(Mass Flow Controller)의 제품List입니다

MC 다음에 보이는 숫자가 바로 최대유량을 뜻합니다.

예를들어, 최대 50ml/min을 사용하시길 원하신다면 MC-50SCCM-D를 선택하시면 됩니다.

여기서 최소 유량은 최대 유량의 1/200을 해주시면 됩니다.

따라서 “MC-50SCCM-D”는 최소 0.25ml/min에서 최대 50ml/min까지 컨트롤이 가능한 제품이라고 생각해주시면 됩니다.

해당 유량외에 고려해야 할(압력 및 Tube 설치 환경)등이 있으시면 저희 담당직원들이 직접 상담드리겠습니다

지금까지 alicat사의 유량계에 대해 알아보았습니다

alicat사의 다른 제품이 궁금하시다면,

하단 로고를 클릭해주세요


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그 밖의 유량에 따라 다양한 제품들이 있으니

제품에 대한 상담 또는 제품을 선정하는 방법에 대해 궁금하시다면

언제든지 아래 연락처 혹은 레보딕스 카카오톡으로 연락주시면

더욱 자세한 상담으로 여러분의 궁금점이 풀리실 때까지 도와드리겠습니다.

감사합니다

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