안녕하세요~ 레보딕스입니다
오늘은 ALICAT 사의 MFC, MFM에 대해 알아보고자 합니다.
일반적으로 기체의 유량을 측정할 때 질량 유량측정기가 많이 사용되며
통상적으로 MFM, MFC라고 불리고 있습니다.
#flowcontroller
기체가스유량 압력컨트롤러
MFM, MFC
alicat
Alicat사 제품은 그림과 같이 MFM 과 MFC로 나뉠 수 있습니다.
(a) MFM (Mass Flow Meter)
(b) MFC (Mass Flow Controler)
(a) 와 같은 제품은 질량 유량 측정기, MFM이라고 하여 주로 시스템내에 기체의 흐름 속도를 측정(모니터링)하는 제품입니다
다시 말해 기본적으로는 표기된 명칭(측정기-METER)과 같이 기체유량을 측정만 할 뿐 유량 제어는 가능하지 않습니다.
(b) 와 같은 제품을 질량 유량 제어기, MFC라고 하여 기체의 흐름 속도를 조절이 가능한 제품입니다, MFC는 위에서 언급한 질량 유량 측정계에 제어 기능을 추가하여 유량을 원하는 만큼 컨트롤 할 수 있는 제품입니다.
위에 설명한 MFM, MFC의 경우 적용되는 부분도 제품에 따라 많은 차이가 있습니다.
MFM은 주로 시스템에서 발생하는 기체의 흐름속도측 측정하는 데에 쓰이는 반면
MFC의 경우 일정한 속도로 기체를 투입할 때 쓰입니다.
위에 서술한 내용을 아래와 같은 그림으로 나타낼 수 있습니다
위의 그림과 같이 <A> 와 같은 Air를 <B> reactor에 주입시키려 할 때
Air의 흐름은 두 가지로 나뉠 수 있습니다
1. 상단의 Valve를 닫을(off) 경우
- Air의 흐름 : [MFC] -> [MFM] -> <B> REACTOR
2. 상단의 Valve를 열(On) 경우
-Air의 흐름 : [MFC] -> [MFM] and <C>VALVE-> <B> REACTOR
만약 투입되는 Air를 MFC를 이용하여 10SCCM의 속도로 투입한다면
Valve를 닫을(off)경우 MFM에서도 투입된 10SCCM가 표기되며
Valve를 열(On)경우 MFM에 기체가 투입 전 열려있는 VALVE로 Gas가 분기되어
실제 MFM으로 통과되는 양은 10SCCM이하도 표기가 될 것입니다
해당그림에서 MFC는 투입되는 유량을 조절하여 일정유량은 유로에 공급하는 데 사용되고 공급된 기체가 여러가지 저항에 의하여 변경되는 유량을 확인(모니터링)시에는 MFM가 적용이 됩니다.
지금가지 MFM, MFC의 차이점 및 적용방법에 대하여 간단하게 알아보았습니다
적용분야 따라 다양한 제품들이 있으니
제품에 대한 상담 또는 제품을 선정하는 방법에 대해 궁금하시다면
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