AI반도체 고집적화 시대, 반도체 유체공정과 정량펌프의 중요성
요즘 AI의 확산으로 인해 다시금 가장 핫한 시장이 되는 반도체 산업!
특히 데이터센터, 고대역폭 메모리(HBM), 첨단 패키징 중심의 AI반도체 시장이 급성장하면서,
단순한 생산량 증가가 아니라 “공정 정밀도”의 기준 자체가 한 단계 높아지고 있는데요.
때문에 최근 업계에서는 반도체 장비·부품에 대해 단순 제작 능력을 넘어 공정 능력(Cp/Cpk)과
청정 관리 역량까지 증명해야 하는 국면에 들어섰다는 분석이 나오고 있습니다.
기사를 보면 더 자세히 알 수 있듯이 미세화·고집적화가 가속화될수록,
진공·유체·열관리 장치의 정밀도는 수율과 직결되기 때문입니다.
특히 케미컬 공급, 세정 공정, 패키징 단계에서 발생하는 미세한 유량 오차나 누설(Leak),
파티클 문제는 곧 반도체 공정 병목으로 이어질 수 있습니다.
이제 반도체공정에서의 유체 제어는 “흐르면 된다”의 영역이 아닙니다.
μL 단위 오차까지 관리되는 정밀 디스펜싱과 안정적인 반복 정밀도가 요구됩니다.
공정 자동화와 모듈화가 확대되는 상황에서, 장비 내부에 적용되는 정량펌프(Positive Displacement Pump)의 성능은 단순 부품이 아닌 공정 완성도를 결정하는 요소로 작용하고 있습니다.
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특히 프라이밍(Priming)과 디스펜싱(Dispensing)을 하나의 모듈로 안정적으로 수행할 수 있는 구조는
복잡해지는 AI반도체 장비 설계에서 시스템 단순화와 신뢰성 확보라는
두 가지 과제를 동시에 해결할 수 있는 핵심 조건이 되고 있습니다.
이러한 흐름 속에서, 넓은 디스펜스 범위와 높은 반복 정밀도를 갖춘 차세대 소형정량펌프에 대한 관심도 함께 높아지고 있는데요!
이렇듯 정밀한 유체 제어가 필요한 장비를 설계하다 보면 엔지니어로서 한 번쯤 이런 고민을 하게 됩니다.
"넓은 유량 범위를 하나의 펌프로 커버할 수 없을까?"
"반복 정밀도는 유지하면서 구조는 더 단순해질 순 없을까?"
그래서 오늘은 이런 고민을 해결해 줄 혁신적인 솔루션,
Fluid Metering사의 FENYX+™ Variable Dispense Pump를 소개합니다.
Fluid Metering사의 FENYX+™
FENYX+™는 어떤 펌프인가요?
FENYX+™는 Fluid Metering사가 오랜 기간 축적해온 독보적인 CeramPump® 기술을 기반으로 탄생한 고성능 가변 디스펜스 펌프입니다.
가장 큰 핵심은 "단 하나의 펌프로 매우 넓은 디스펜스 범위와 유량을 커버한다"는 점입니다.
연구용 소량 디스펜싱부터 산업용 자동화 장비의 연속 유량 공급까지,
폭넓은 어플리케이션에 대응하도록 설계되었습니다.
특히 반도체 및 AI반도체 공정 장비, IVD, 자동화 분석 시스템과 같이 정밀 유체 제어가 필수적인 환경에서
안정적인 성능을 발휘하도록 설계되었습니다.
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FENYX+™의 주요 특장점
1.
압도적으로 넓은 디스펜스 & 유량 범위
μL(마이크로리터) 단위의 초정밀 디스펜싱부터 mL/min 단위의 유량 제어 까지 가능합니다.
장비 설계 시 여러 개의 펌프를 배치할 필요가 없어 시스템이 간결해집니다.
2.
밸브 없는(Valveless) 구조의 단순함
CeramPump® 기술이 적용되어 밸브가 없는 구조를 자랑합니다.
막힘이나 누설 리스크를 획기적으로 줄였습니다.
유지보수 부담이 최소화되어 장기적인 안정성을 확보할 수 있습니다.
3.
탁월한 반복 정밀도와 신뢰성
진단 및 분석 장비에서 가장 중요한 결과의 재현성을 보장합니다.
일관된 반복 정밀도를 통해 장비 전체의 완성도와 신뢰도를 높여줍니다.
다재다능한 멀티태스킹
프라이밍(Priming), 디스펜싱(Dispensing), 플러싱(Flushing) 공정을 펌프 하나로 모두 처리할 수 있어 시스템 구성이 매우 효율적입니다.
주요 적용 분야 (Applications)
FENYX+™는 정밀도, 유연성, 신뢰성이 동시에 요구되는 다양한 환경에서 최고의 성능을 발휘합니다.
진단 및 IVD(체외진단) 장비
바이오·라이프사이언스 연구 장비
자동화 분석 시스템 및 OEM 장비
맞춤형 유체 제어 시스템
FENYX+™는 단순한 펌프를 넘어, 장비 설계의 한계를 넓히고자 하는 엔지니어를 위한 최적의 솔루션입니다.
제품에 대한 상세 사양이나 견적 문의는 언제든지 레보딕스로 연락해 주세요!
본사: 031-790-1907
대전 지사: 042-824-5167
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